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利用压电材料制作微电机的方法

点击次数:   更新时间:22/02/21 16:53:02   【关闭分    享:
  压电材料是制作微电机的理想材料。这是因为压电材料仅加电场就能自己产生变形。压电性薄膜可以通过许多途径获得,方便地制成微小主动结构体。利用压电材料制作有三种方法:
  1、利用压电材料本身的变形,在很小行程下(微米以下)工作;
  2、应用杠杆原理或与弹性体结合成复合结构(如:双压电晶片、兰杰文振子),扩大压电材料本身的变形(几百微米以下);
  3、将压电陶瓷产生的变形设法无限延长。这主要有三种类型,利用共振生成行波或驻波的超声波电机,组合成箱位结构的蠕动式电机,利用惯性停/滑原理的惯性式电机。
  微电机中,压电式和电磁式输出功率较大,产业化前景较好。
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